采用交流伺服驱动的伺服机械压力机去除了飞轮、离合器和制动器等笨重的装置，靠电动机瞬时转矩进行压制工作，由计算机控制，不仅能够大幅节能，而且其工作参数可控、运动曲线可编程。它改变了传统成形装备控制性能差、工艺适应范围窄、能耗高、可靠性低等缺点，是典型的新一代绿色智能化装备。伺服机械压力机的设计、控制和使用与传统压力机大不

阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础/MEMS与微系统系列/微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料，在此基础上，第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差，第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺，介绍相关工艺原理与典型设备，第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备，

本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本

本书主要阐述超声波电机控制技术及具体装置的设计与实现方法，反映超声波电机控制领域的**进展，内容丰富，深入浅出，包括超声波电机改进PID控制技术、黄金分割自适应控制技术、模型参考自适应控制技术等。针对超声波电机产业化应用需求，书中给出多种在线计算量小的超声波电机新型控制策略及详细设计方法，分析超声波电机系统的控制非线性

本书共12章，内容包括微特电机基础、直流伺服电动机、交流伺服电动机、步进电动机、测速发电机、旋转变压器、力矩电动机、永磁直流电动机、永磁同步电动机、永磁无刷电动机、单相交流串励电动机、开关磁阻电动机。书中简要介绍了常用微特电机的基本结构、工作原理、主要特性与控制方法。着重介绍了常用微特电机的主要技术指标、选择方法、应用

微特电机及系统在工农业生产、国防、航空航天以及自动化领域具有非常广泛的用途。微特电机常用于控制系统中，以实现机电信号或能量的检测、解算、放大、执行或转换等功能，或用于传动机械负载，也可作为设备的交、直流电源。微特电机在课程体系上是电机学的延伸与深化，其理论性与实践性较强，是电气工程及其自动化、电机与电气、工业自动化、机

相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、

《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与技术，涵盖微制造、薄膜技术、材料科学、结构学、燃烧与传热学、电机科学等多个领域，除麻省理工学院之外还有佐治亚理工学院、克

《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与技术，涵盖微制造、薄膜技术、材料科学、结构学、燃烧与传热学、电机科学等多个领域，除麻省理工学院之外还有佐治亚理工学院、克

本书系统论述各种控制电机与特种电机的结构原理、特性、应用等，鉴于一些电机与其控制部分的不可分割性特点，本书对部分电机的控制系统也做了详细介绍。全书共分11章，包括绪论、测速发电机、自整角机、旋转变压器、伺服电动机及其控制、步进电动机及其驱动、无刷直流电动机及其控制、开关磁阻电机及其控制、直线电动机、盘式电动机、超声波电