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高温SiC MEMS传感器的热电特性 
定 价：88 元
9 7 7 8 2 7 4 0 8 3 9 0 2 读者对象:MEMS高温传感器及SiC材料领域的高年级本科生、研究生专业课程教材或参考书目，也可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读
本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的**进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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