半导体工艺与集成电路制造技术

定　　价：178 元

丛书名：中国科学院大学研究生教材系列

• 作者：韩郑生，罗军，殷华湘，赵超
• 出版时间：2023/4/1
• ISBN：9787030750600
• 出 版 社：科学出版社

• 中图法分类：TN430.5 
• 开本：B5

内容简介

本书将系统地介绍微电子制造科学原理与工程技术，覆盖集成电路制造所涉及的晶圆材料、扩散、氧化、离子注入、光刻、刻蚀、薄膜淀积、测试及封装等单项工艺，以及以互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路为主线的工艺集成。对单项工艺除了讲述相关的物理和化学原理外，还介绍一些相关的工艺设备。

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