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电容式微机械陀螺仪设计

电容式微机械陀螺仪设计

定  价:22 元

        

  • 作者:李锦明
  • 出版时间:2008/6/1
  • ISBN:9787118045853
  • 出 版 社:国防工业出版社
  • 中图法分类:TH202 
  • 页码:
  • 纸张:
  • 版次:1
  • 开本:32开
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本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺,着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现,最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。 本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书,也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
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